Erfolgreicher Test des DaOS-Prototypen

Nach insgesamt drei Jahren Forschung und Entwicklung konnte der Prototyp der In-Situ- Deflectometric acquisition of Optical Surfaces Messtechnik DaOS nun an einem ebenen Prüfling abschließend getestet und bewertet werden.
Nach den jeweiligen Polierschritten wurden In-Situ-Messungen in der Maschine mit Hilfe der neu entwickelten Traverse mit Vignettierendem Feldblenden-Sensor ELWIMAT der Fa. Hofbauer durchgeführt.
Zur Referenzierung wurden alle Messungen auch auf einem SSI-A Interferometer im Messtraum des TC-Teisnach durchgeführt.
Ergebnis: 
Genauigkeit < 60 nm PV und < 20 nm rms. Insbesondere langwellige Abweichungen werden sehr zuverlässig bewertet und beim nächsten Polierschritt korrigiert.
Systematische Einflüsse durch unterschiedliche Prüflingsauflage sowie Temperaturgradienten in Fertigungsumgebung lassen sich durch bekannte Prozessparameter einstellen.