Der Startschuss für unser neues Projekt ist gefallen!
Wir arbeiten heuer an der Serienreifmachung unseres ELWIMAT-VFS DualWave mit 4DoF-Auswertung.
Das
heißt, wir messen mit diesem Sensor gleichzeitig mit Hilfe von zwei
Wellenlängen (DualWave) und einem Kombi-Reflektor den Winkel und die
laterale Position in zwei orthogonalen Richtungen X und Y.
Eine
Wellenlänge wird am teildurchlässigen Planspiegelen reflektiert und
dient der Winkelmessung. Die zweite Wellenlänge wird transmittiert und
über Retro-Reflexion am Prismenreflektor zurückgestrahlt und dient der
Positionsmessung in zwei Richtungen.
Eingesetzt
wird ein ähnliches Equipment von uns bereits zur Montage von Baugruppen
bei Halbleiterinspektionssystemen und zur Montage und Justage von
Lasersystemen beim Selektive Laser Melting SLM bzw. 3D-Metalldruck.
Das
hier beschriebene neueste System dient zur schnellen Montage und
Justage von Spiegel- und Optikbaugruppen in der Mikroskop-Montage bei
gleichzeitiger Betrachtung aller 4 Freiheitsgrade. Das neue ELWIMAT-VFS
DualWave System liefert dabei für jeden der 4 Werte bis zu 20 Messwerte
in der Sekunde.
Im Bild zu sehen ist
die Anordnung am Prüfstand im Kalibrierlabor, an dem die Winkel im
Bereich von +/- 2 Grad auf < 0,02 wmin und die Lateralpositionen im
Bereich von +/- 20 mm auf < 1 bis 2 Mikrometer kalibriert werden.