Es ist soweit!

Der Startschuss für unser neues Projekt ist gefallen!
Wir arbeiten heuer an der Serienreifmachung unseres ELWIMAT-VFS DualWave mit 4DoF-Auswertung.
Das heißt, wir messen mit diesem Sensor gleichzeitig mit Hilfe von zwei Wellenlängen (DualWave) und einem Kombi-Reflektor den Winkel und die laterale Position in zwei orthogonalen Richtungen X und Y.
Eine Wellenlänge wird am teildurchlässigen Planspiegelen reflektiert und dient der Winkelmessung. Die zweite Wellenlänge wird transmittiert und über Retro-Reflexion am Prismenreflektor zurückgestrahlt und dient der Positionsmessung in zwei Richtungen.

Eingesetzt wird ein ähnliches Equipment von uns bereits zur Montage von Baugruppen bei Halbleiterinspektionssystemen und zur Montage und Justage von Lasersystemen beim Selektive Laser Melting SLM bzw. 3D-Metalldruck.
Das hier beschriebene neueste System dient zur schnellen Montage und Justage von Spiegel- und Optikbaugruppen in der Mikroskop-Montage bei gleichzeitiger Betrachtung aller 4 Freiheitsgrade. Das neue ELWIMAT-VFS DualWave System liefert dabei für jeden der 4 Werte bis zu 20 Messwerte in der Sekunde.

Im Bild zu sehen ist die Anordnung am Prüfstand im Kalibrierlabor, an dem die Winkel im Bereich von +/- 2 Grad auf < 0,02 wmin und die Lateralpositionen im Bereich von +/- 20 mm auf < 1 bis 2 Mikrometer kalibriert werden.